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螺杆真空泵与离子泵和睦相处
- 分类:公司新闻
- 作者:广东安申红
- 来源:
- 发布时间:2023-03-25
- 访问量:0
螺杆真空泵与离子泵和睦相处
根本原因是没有电流
可能的原因是:
CV和DI泵是正高压,TR是负高压,难道控制器极性选错了?
查看控制器输出高压极性是否准确;
启动压力高于1E-4 Torr?
确保入口压力低于1E-4 Torr的情况下,再来启动离子泵;
设备是否安全接地?
检查接地情况;
高压线缆安装是否正常?线缆是否有松动?
确保安全互锁正确连接;
线缆接口有污染物?
在安全用电的前提下, 将电缆接口处理干净;
磁铁刚刚重新安装过,是否安装不正确?
如果烘烤温度> 250℃ (区分具体型号),需要在烘烤时,将磁铁卸下。此时,重新安装磁体时,如果安装不正确,会导致泵无法启动;
真空系统发生了泄露?
如果入口压力高,则功耗就大,从而泵会过热。建议检漏并找出漏点,进行改进;
腔体内有过多的水汽?
尤其是使用大气破空(建议使用干燥的空气或者氮气),则气体中的水蒸气容易附着在腔体壁上而不容易被抽走,我们需要烘烤离子泵和真空系统加快水蒸气的释放过程;
控制器和离子泵不匹配?
检查控制器的功率和泵的抽速是否匹配(这种概率相对来说还是比较小。);
有漏了?
进行检漏,找出漏点并改进;
系统被污染?例如水汽、油或者高放气率的材料?
如果是水汽,可通过加热烘烤方式;如果是其他污染物,则找出污染源,并处理(复杂情况需跟Edwards技术确认);
磁铁的磁场强度不够?
磁铁强度不够,无法溅射出更多的钛原子。因此,建议查看磁铁安装是否正确,尤其是磁铁重新安装过的情况;
离子泵电流突然变高或者超过了当前压力下的值,啥原因呢?
有漏了?
先检漏,并找出漏点;
电路短路?金属物件卡在泵内或者高压馈通导致的短路?
关掉控制单元,移去高压线,用欧姆表测量高压接头和泵壳之间的电阻,正常是开路状态;反之需要重新拆装离子泵;
如果工艺是镀膜,查看是否因溅射产生涂层或者气体蒸发的物质导致漏电;
离子泵内部产生了和压力无关的电流值,可能的原因如下:
如果是镀膜工艺,可能溅射材料或者导电物卡在里面,测试不出电阻值?
使用Hi-Potting功能(请注意安全,建议跟Edwards技术服务确认);
如果可以测试出电阻,很有可能因为镀层污染导致绝缘部分导电了。
如果通过清洁高压接头的外部仍然无法解决该问题,则可能需要把泵拆开来进行清洗(请与Edwards技术服务确认) ;
前级泵返油、手指印或者密封脂等的碳氢物的污染通过烘烤,可以在玻璃视窗看到棕色或者黄色的沉积,或者离子泵上有污垢的存在;
如果是高蒸汽压金属材料,例如Ce、Rb等活性金属
需要拆泵然后把泵内部进行仔细清洁,然后重新组装;
因为一般离子泵(CV 泵)对惰性气体没有抽速,随着时间的推移,被钛覆盖的Ar等惰性气体被不断的溅射出来,因而导致周期性波动;
根据Ar等惰性气体的来源情况,将其影响消除;
如果无法消除,使用可以抽吸惰性气体的离子泵(DI泵) ;
到此,我们对离子泵的脾气秉性有了一个相对比较全面的了解,希望大家在后续使用离子泵的日子里,能够知己知彼,游刃有余!
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