螺杆真空泵与离子泵和睦相处

真空系统发生了泄露?

如果入口压力高,则功耗就大,从而泵会过热。建议检漏并找出漏点,进行改进;

腔体内有过多的水汽?

尤其是使用大气破空（建议使用干燥的空气或者氮气）,则气体中的水蒸气容易附着在腔体壁上而不容易被抽走,我们需要烘烤离子泵和真空系统加快水蒸气的释放过程;

控制器和离子泵不匹配?

检查控制器的功率和泵的抽速是否匹配（这种概率相对来说还是比较小。）;

有漏了?

进行检漏，找出漏点并改进;

系统被污染?例如水汽、油或者高放气率的材料? 

如果是水汽,可通过加热烘烤方式;如果是其他污染物,则找出污染源,并处理（复杂情况需跟Edwards技术确认）;

磁铁的磁场强度不够?

磁铁强度不够,无法溅射出更多的钛原子。因此,建议查看磁铁安装是否正确,尤其是磁铁重新安装过的情况;

离子泵电流突然变高或者超过了当前压力下的值，啥原因呢？

有漏了?

先检漏,并找出漏点;

电路短路?金属物件卡在泵内或者高压馈通导致的短路? 

关掉控制单元,移去高压线,用欧姆表测量高压接头和泵壳之间的电阻,正常是开路状态;反之需要重新拆装离子泵;

如果工艺是镀膜,查看是否因溅射产生涂层或者气体蒸发的物质导致漏电;

离子泵内部产生了和压力无关的电流值，可能的原因如下：

如果是镀膜工艺,可能溅射材料或者导电物卡在里面,测试不出电阻值？

使用Hi-Potting功能（请注意安全，建议跟Edwards技术服务确认）;

如果可以测试出电阻,很有可能因为镀层污染导致绝缘部分导电了。

如果通过清洁高压接头的外部仍然无法解决该问题，则可能需要把泵拆开来进行清洗（请与Edwards技术服务确认) ;

前级泵返油、手指印或者密封脂等的碳氢物的污染通过烘烤,可以在玻璃视窗看到棕色或者黄色的沉积,或者离子泵上有污垢的存在;

如果是高蒸汽压金属材料,例如Ce、Rb等活性金属

需要拆泵然后把泵内部进行仔细清洁,然后重新组装;

因为一般离子泵（CV 泵）对惰性气体没有抽速,随着时间的推移,被钛覆盖的Ar等惰性气体被不断的溅射出来,因而导致周期性波动;

根据Ar等惰性气体的来源情况,将其影响消除;

如果无法消除,使用可以抽吸惰性气体的离子泵(DI泵) ;