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莱宝干式无油螺杆式真空泵

 
行业专用真空泵 ● 适用于一般真空镀膜、烤箱、热处理、制药、化工、半导体、 TFT、LCD、LED与太阳能电池产业等。
品牌:
分类: 干式无油螺杆式
真空压力: -99kpa以上
抽气量: 80m3/h到800m3/h
 
产品描述

PD系列变螺距螺杆真空泵

世界最先进的技术

PS SERIES DRY SCREW VACUUM PUMP

基本特点: Features

● 高压段抽速快,运转功率低,噪音低。
● 可依制程/环境需求选用水冷(防爆)或气冷(防爆)马达。 ● 气冷马达机型可搭配自循环冷却系统,能使用在无冷却 水系统的环境。

● Dry screw vacuum pump ,can be with water-cooled motor (explosion-proof) or air-cooled motor(explosion- proof), high pumping speed in high pressure, low power consumption, low noise.

典型应用: Applications

● 面板TFT-LCD, Touch Panel
● 太阳能Solar
● 冶金系统Metallurgical System
● 镀膜Coating
● 电浆制程Plasma processes
● 干燥处理Drying Process
● 制程气体抽取Degassing
● 生技/制药Biotech/Pharmaceutical ● 化工产业Chemical Industry

PD系列单机 性能参数

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机型Model

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单位Unit

page6image22160 page6image23256 page6image24184page6image24344 page6image24504 page6image24664 page6image24824

PD120

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PD200

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PD300

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PD500

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PD650

page6image35144 page6image35568 page6image35992 page6image36416 page6image36840

PD800

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抽气速度 PumpingSpeed (50HZ/60HZ)

L/min

1667/2000

2830/3400

4167/5000

7000/8333

9030/10840

11011/13233

m3/hr

100/120

167/200

250/300

420/500

540/650

680/800

cfm

59/71

98/117

147/176

248/295

371/382

393/471

终极压力 UITimatePressure

Torr

≤7.5×10-3

mbar

≤1×10-2

Pa

≤1

马达 Motor

频率Frequency

HZ

50/60

电压 Voltage

V

220/380/440

功率 Power

Hp

4/5.3

6/7.5

8/10

15/20

25/30

25/30

KW

2.98/4

4.47/5.5

6.7/7.5

11/15

18.5/22

18.5/22

底压耗功 Power

KW

1.6/2

2.2/3

3.6/4.2

6/7

10/13

11/14

连接 Connection

进气口Inlet

 

NW50

NW50

ISO63

ISO80

ISO100

ISO100

排气口Outler

 

NW40

NW40

NW40

NW50

ISO63

ISO63

冷却水 Cooling Water

接头Connection

 

RC3/8"

RC3/8"

压力Pressure

kg/cm2

2.0~4.0

温度Temperature

流量Flow

°C

3slm18°C~ 7slm28°C

6slm18°C~ 15slm28°C

L/min

氮气N2

压力Pressure

kg/cm2

0.15~0.2

稀释流量 Dilute Flow

L/min

依制程By Process

密封流量 Sealing Flow

L/min

10

接头 Connection

 

Swagelok 1/4”

尺寸DIM.L*W*H

mm

814×380×663

920×430×674

1075×430×650

1346X538.4X886

1831×610×735

1831×610×735

重量Weight

kg

280

345

390

550

1050

1050

噪音Noise

Db(A)

68

<70

<70

<75

<80

<80

室温操作范围 Operation Temp.

°C

5~40°C

最大操作湿度 Operation Moisture

RH

90%以上

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公司地址:
惠州市惠城区三栋镇陶前村岭排组87号

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